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產(chǎn)品名稱:P83.X一維X向壓電宏微復合臺

產(chǎn)品型號:P83.X 一維X向 28μm

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P83.X一維X向壓電宏微復合臺
P83為標準測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。

更新日期:2024-03-04

P83.X 一維X向 28μmP83.X一維X向壓電宏微復合臺的詳細資料:

 宏微復合機構

P83.X一維X向壓電宏微復合臺,宏微復合機構是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機構完成大范圍精密定位需求。

配套宏動臺可以組成1-3維大行程位移臺

通過測微頭與壓電微調(diào)機構相結合的方式實現(xiàn)宏微復合機構,宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺。

 

 供貨周期

2~3周發(fā)貨

P83.X一維X向壓電宏微復合臺參數(shù)介紹

型號

P83.X25S

P83.X25K

單位

運動自由度

X

X

行程范圍

13mm+28µm

13mm+28µm

粗調(diào)+精調(diào)

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

500

500

g±5%

殼體材料

外形尺寸(長×寬×高)

114×80×23

114×80×23

mm×mm×mm

手動調(diào)節(jié)部分-千分尺

粗調(diào)行程范圍

13

13

mm

粗調(diào)分辨率(千分尺)

10

10

µm

導軌

交叉滾柱導軌

交叉滾柱導軌

驅動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數(shù)

10

10

(微米/格)

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅動精調(diào)部分-壓電驅動

精調(diào)行程范圍

0~120 V, Nominal

20

20

µm±20%

-20~150 V, Max

28

28

µm±20%

傳感器類型

SGS

-

步進/分辨率

1.5

0.5

nm, typ.

閉環(huán)線性度(壓電驅動)

0.2

-

%F.S.

重復定位精度

0.1

-

%F.S.

運動方向推力

20

20

N

剛度

2

2

N/µm±20%

承載能力(Z向)*

1000

1000

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

重量(含載物平臺)

400

400

g±5%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO

*若將此宏微復合臺作為Z向移動平臺使用,它的承載能力將減小,約600g。

**可定制低溫版本及高真空版本。
注:以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設備有關。參數(shù)更新不予通知,具體請與銷售工程師聯(lián)系確認。

 

 
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