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產(chǎn)品名稱:P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺

產(chǎn)品型號:P84.X 一維X軸 110μm

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺:
P84為標(biāo)準(zhǔn)測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動,再通過控制驅(qū)動電壓,使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實(shí)現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。

更新日期:2021-03-23

P84.X 一維X軸 110μmP84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺的詳細(xì)資料:

P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)完成大范圍精密定位需求。

通過測微頭與壓電微調(diào)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu),宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺

 

P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺技術(shù)參數(shù)

型號

P84.X100S

P84.X100K

單位

運(yùn)動自由度

X

X

 

行程范圍

13mm+110µm

13mm+110µm

粗調(diào)+精調(diào)

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

400

400

g±5%

殼體材料

鋼、鋁

鋼、鋁

 

外形尺寸(長×寬×高)

140×90×23

140×90×23

mm×mm×mm

手動調(diào)節(jié)部分-千分尺

粗調(diào)行程范圍

13

13

mm

粗調(diào)分辨率(千分尺)

10

10

µm

導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

 

驅(qū)動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

 

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數(shù)

10

10

(微米/格)

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動

精調(diào)行程范圍

0~120 V,Nominal

80

80

µm±20%

-20~150 V,Max

110

110

µm±20%

傳感器類型

SGS

-

 

步進(jìn)/分辨率

7

2.5

nm, typ.

閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動)

0.1

-

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.05

-

%F.S.

運(yùn)動方向推力

16

16

N

剛度

1

1

N/µm±20%

承載能力(Z向)*

500

500

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO

 

 

注:壓電驅(qū)動的標(biāo)稱行程是在 0~120V 的驅(qū)動電壓下的位移行程,大驅(qū)動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在
0~120V。

以上所提參數(shù)與測試環(huán)境及測試設(shè)備有關(guān)。參數(shù)更新不予通知,具體請與銷售工程師聯(lián)系確認(rèn)。

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