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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):P17

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P17壓電掃描臺(tái)是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

更新日期:2021-03-23

P17芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料:

   芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P17壓電掃描臺(tái)是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P17壓電掃描臺(tái)特性

•大位移210μm

• 大承載1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

XY二維掃描臺(tái)

      P17二維壓電掃描臺(tái)中心大通孔,滿行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快

   P17系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度 掃描臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程,優(yōu)異 的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無(wú)摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。

    閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心 60×60mm大通孔,適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微 操作等應(yīng)用。

P17壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定    
• 掃描顯微
• 干涉/計(jì)量    • 表面檢測(cè)
• 晶圓定位    • 微操作

應(yīng)用實(shí)例
    P17系列壓電掃描臺(tái)適用于需要大行 經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測(cè)試、表面結(jié)構(gòu)分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級(jí)精密定位。

P17壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù):

 

型號(hào)

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P17.XY200S P17.XY200K

 

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

150/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

210/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環(huán)分辨率

8/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<15

µrad

推/拉力

40/15

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

30/5

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50

 

Hz±20%

行程

10

大承載

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

660

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。

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