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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:P-18系列

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

更新日期:2021-03-23

P-18系列芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺的詳細(xì)資料:

  芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑:Ø35mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

1~3維掃描臺

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式,可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

        P18系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,可以 實現(xiàn)大370μm的掃描范圍,運動直線性好,可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。

        P18采用*的結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有大剛度、大出力、大承 載等特點,大承載達(dá)3.5kg,空載諧振頻率達(dá)600Hz,配 套芯明天大功率控制器響應(yīng)時間可達(dá)5ms,是精密加 工、半導(dǎo)體制造、掃描顯微等應(yīng)用。

P-18壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導(dǎo)體測量 • 光學(xué)計量

應(yīng)用實例-納米光刻

 在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動,從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應(yīng)用于納米光刻實驗。

P-18壓電掃描臺技術(shù)參數(shù):

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P18.X200S P18.X200K

 

P18.X300S P18.X300K

 

P18.XY200S P18.XY200K

 

P18.XY300S P18.XY300K

 

P18.XYZ200S P18.XYZ200K

 

單位

運動自由度

X

X

X、Y

X、Y

X、Y、Z

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

200

300或±150

200/軸

300或±150/軸

200/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

280

370或±185

280/軸

370或±185/軸

280/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

mm

閉/開環(huán)分辨率

8/5

10/5

8/5

10/5

8/5

nm

閉環(huán)線性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.15/-

0.1/-

0.15/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<10

<15

<10

<15

<15

µrad

推/拉力

60/20

150/150

60/20

150/150

30/10

N

運動方向剛度

0.3

0.5

X0.3/Y0.3

X0.5/Y0.5

X0.1/Y0.1/Z0.1

N/μm±20%

空載諧振頻率

500

600

X200/Y450

X250/Y500

X300/Y200/Z120

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

30/5

30/10

50/5

50/10

50/5

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

100

50

50

40

30

 

Hz±20%

行程

30

15

15

10

5

大承載

2

3.5

1.5

3

1

kg

靜電容量

11

21

11/軸

21/軸

11/軸

μF±20%

材質(zhì)

 

重量

200

220

360

380

600

g±5%


以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

 

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