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芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) N12壓電掃描臺(tái)為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái),臺(tái)體中心方形通孔,內(nèi)部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu),具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無(wú)磨損等特點(diǎn),平臺(tái)內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋,實(shí)現(xiàn)滿(mǎn)行程0.04%的 重復(fù)定位精度。《查看更多》
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P12壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái),臺(tái)體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm,滿(mǎn)足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程,一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合、多種規(guī)格型號(hào)可選,以滿(mǎn)足不同應(yīng)用的需求。《查看更多》
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P-18壓電掃描臺(tái)為1-3維直線(xiàn)掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇,適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。《查看更多》
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) XP-780系列壓電掃描臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng),內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)X軸大220μm的 位移,可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺(tái)具有25mm×25mm的通孔,適用于光學(xué)掃描。平臺(tái)可以通過(guò)疊加轉(zhuǎn)接的方式 實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。《查看更多》
直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) N63壓電掃描臺(tái)為二維XY軸掃描平臺(tái),一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理,壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)8μm的掃描范圍,臺(tái)體高度僅為17mm,閉環(huán)版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái) P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái),它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm,定位分辨率可達(dá)3nm。$n$nP79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié),階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用,在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后,再通過(guò)P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整,定位精度達(dá)納米量級(jí)。《查看更多》
N65XY芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái),一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理,壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)8μm的掃描范圍,臺(tái)體高度僅為17mm,閉環(huán)版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》
N62芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺(tái),機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實(shí)現(xiàn)XY軸±11μm的位移行程,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。非常適易于嵌入其他設(shè)備中,用于精密定位與微掃臺(tái)。《查看更多》
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