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芯明天P17系列壓電掃描臺

更新時間: 2020-01-06

P17 系列

P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

 

特點(diǎn)

• 位移187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 響應(yīng)速度快

應(yīng)用

 

• 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

• 干涉/ 計量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

階躍時間

 

 

 

大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

 

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

應(yīng)用實(shí)例

 

P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

技術(shù)參數(shù)

 

型號

S-閉環(huán)

K-開環(huán)

P17.XY200S

P17.XY200K

單位

運(yùn)動自由度

X、Y

 

行程范圍(0~120V)

150/軸

μm

行程范圍(0~150V)

187.5/軸

μm

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環(huán)分辨率

8/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滾動

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

運(yùn)動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間

30/5

ms

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

50

Hz

行程

10

承載能力

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

660

g

是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

特點(diǎn)

• 位移187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 響應(yīng)速度快

應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

• 干涉/ 計量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

階躍時間

大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

應(yīng)用實(shí)例

P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

技術(shù)參數(shù)

 

型號

S-閉環(huán)

K-開環(huán)

P17.XY200S

P17.XY200K

單位

運(yùn)動自由度

X、Y

 

行程范圍(0~120V)

150/軸

μm

行程范圍(0~150V)

187.5/軸

μm

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環(huán)分辨率

8/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S

俯仰/偏航/滾動

<15

μrad

推/拉力

40/15

N

運(yùn)動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間

30/5

ms

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

50

Hz

行程

10

承載能力

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

660

g

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