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壓電陶瓷驅(qū)動微定位偏擺臺在微納米技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，通常是所應(yīng)用系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件。芯明天壓電偏擺臺通過壓電陶瓷為驅(qū)動源，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，進行精密角度調(diào)整，具有體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、無機械摩擦、定位精度高等優(yōu)點，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉(zhuǎn)精度和穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，在激光光束掃描以及激光合束等領(lǐng)域擁有廣泛應(yīng)用前景。

P54系列壓電偏擺臺

芯明天P54壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特點：

·  θx, θy偏擺運動

·  開環(huán)/閉環(huán)可選擇

·  80×80mm大通孔

·  分辨率高

·  外形薄

閉環(huán)傳感精度高：

P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復(fù)定位精度。

臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，廣泛應(yīng)用于亞微弧度精密光束調(diào)整、計量、定位等領(lǐng)域。

負載大鏡片：

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應(yīng)用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

頻率負載曲線：

階躍時間：

P54.T2S壓電偏擺臺，空載時到達滿行程的階躍時間約20ms。

技術(shù)參數(shù)：