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產(chǎn)品名稱：XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結(jié)合的方式,滿足XY軸mm級(jí)大行程,并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級(jí)的高精度。

更新日期：2023-08-28

XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的詳細(xì)資料：

XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)

 XY宏動(dòng)毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調(diào)整

 Z向微動(dòng)微米行程，適于光學(xué)聚焦調(diào)整

 Φ35mm中心通孔，適于透射光應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)XY72N81K13 XYZ72SN81K13XYZ72KN81K13單位
運(yùn)動(dòng)自由度X YX Y ZX Y Z
XY 宏動(dòng)行程±5±5±5mm
Z 微調(diào)行程-8@150V8@150Vμm
XY 最小位移增量<30<30<30nm
Z 分辨率-0.30.1nm
Z 微調(diào)傳感器-SGS-
Z 線性度-0.25-%F.S.
Z 重復(fù)定位精度-0.25-%F.S.
Z 空載諧振頻率-2.52.5kHz
承載能力1.5正立：500正立：500g
側(cè)放：200側(cè)放：200
中心通孔φ35φ35φ35mm
重量-695695g
壓電螺釘連接器RJ11RJ11RJ11

XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)

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