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產品名稱：閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺

產品型號：XYZ65N81E26

產品報價：

產品特點：閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進行精確控制，且精度可達1.5μm。

更新日期：2023-02-09

XYZ65N81E26閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺的詳細資料：

閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 特點：


XYZ三維運動
配有閉環(huán)增量式編碼器
行程±12.5mm/軸
納米級分辨率
精度達1.5μm

運動原理：XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動，壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動，驅動螺紋桿旋轉，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。


圖片

閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 技術參數：

產品設計的參數如下表所示。


型號
XYZ65N81E26
運動自由度
X
集成傳感器類型
增量式編碼器
標稱行程范圍
±12.5mm
速度
50μm/s
閉/開環(huán)分辨率
80nm
線性度
1.5μm
重復度
1.5μm
承載能力
1.5kg
工作溫度
0~50℃
質量（包含電纜）
2.61kg
材質
鋁、鋼
電纜長度
1.5m
推薦控制器
E53.D1E



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