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產(chǎn)品名稱:P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格

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產(chǎn)品特點:P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格
壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進(jìn)行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計,產(chǎn)品較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。

更新日期:2022-11-17

P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格的詳細(xì)資料:

P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進(jìn)行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計,產(chǎn)品較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。

P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價格

 特性  

      • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動及Z向100μm直線運動                 • 閉環(huán)定位精度高                    • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 響應(yīng)速度快

 

 閉環(huán)傳感精度高  

  頻率負(fù)載曲線  

  仿真分析  

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺,偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)100μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有高的剛度以及導(dǎo)向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有高的運動控制精度,直線運動分辨率可達(dá)到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。

通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計運動方向上的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許高精度的運動,因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。

 

 超薄的設(shè)計適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片  

 產(chǎn)品測試  

 

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心通光孔達(dá)80×80mm,適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計量等應(yīng)用設(shè)計的,臺體非常薄,厚度僅為20mm,易于集成到高精度顯微鏡中。

校準(zhǔn)調(diào)測

震動實驗

 

 驅(qū)動方式  

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運動,再通過控制電壓的大小,對于固定的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

 

 
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