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產(chǎn)品名稱:P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格
P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達187.5µm,定位分辨率可達3nm。
P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié),階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調(diào)后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的調(diào)整,定位精度達納米量級。

更新日期:2024-03-04

P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格的詳細資料:

P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,它的移動范圍可達187.5µm,定位分辨率可達3nm。

P79系列Z向聚焦壓定位電位移臺價格P79平臺可對樣品進行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié),階躍時間達毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運動掃描平臺或壓電馬達平臺使用,在宏動平臺進行樣品位置的粗調(diào)后,再通過P79壓電掃描臺進行樣品位置的調(diào)整,定位精度達納米量級。

 

兩款規(guī)格型號、開環(huán)/閉環(huán)可選

P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇,分別為100μm及187.5μm,可根據(jù)調(diào)整的運動范圍進行選擇。

另外,P79系統(tǒng)可提供開環(huán)及閉環(huán)版本。開環(huán)版本定位速度更快,且分辨率高;對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用,可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器,裝配在平臺適合的位置,提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設(shè)計避免了溫度的漂移,確保了定位精度。

 

特性

• 一維Z向運動,行程187.5μm                     • 承載2kg                     • 通孔尺寸:128.5×86.5mm                    • 開環(huán)、閉環(huán)可選                     • 閉環(huán)重復定位精度高

 

 

外觀形狀

產(chǎn)品運動示意圖

臺體采用機構(gòu)放大式驅(qū)動設(shè)計,行程范圍大

 

大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、精密導向機構(gòu)

頻率負載曲線

表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命

P79系列壓電掃描臺具有方形通孔,通孔尺寸為128.5×86.5mm,這種大通孔設(shè)計主要是為了滿足各種樣品夾持結(jié)構(gòu),如多井控制盤。

壓電陶瓷驅(qū)動以及無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)使其具有快的響應(yīng)速度,Z軸步進速度和穩(wěn)定時間僅為馬達驅(qū)動的1/20,提高了成像捕獲能力和生產(chǎn)能力。

壓電掃描臺采用高*性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。

 

 

 
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