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產(chǎn)品名稱:XP-780系列大行程壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:XP780

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理, 可以實現(xiàn)大220μm的位移行程,無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向 機構(gòu)使其具有超高的分辨率,選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納 米級的定位精度,臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。

更新日期:2021-10-15

XP780XP-780系列大行程壓電掃描臺的詳細(xì)資料:

  XP-780系列大行程壓電掃描臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式 實現(xiàn)二維、三維運動。采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,實現(xiàn)X軸大220μm的 位移,可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學(xué)掃描。


大行程、高精度、大負(fù)載

   XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理, 可以實現(xiàn)zui大220μm的位移行程,無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向 機構(gòu)使其具有超高的分辨率,選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納 米級的定位精度,臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。
  優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常高的剛度,承載能力大, 可帶載5kg的樣品作精密定位

1~3維掃描臺

        XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格 型號,可以自由疊加組合。

XP-780系列壓電掃描臺典型應(yīng)用


• SPM掃描顯微鏡    • 干涉
• 掩模/晶圓定位    • 計量
• 生物技術(shù)    • 表面結(jié)構(gòu)分析

特性

• zui大位移220μm

• zui大承載5kg

• 通孔尺寸:25×25mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選


XP-780系列壓電掃描臺技術(shù)參數(shù):


型號


尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)


XP-780.XS XP-780.XK


單位

運動自由度

X


標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

160

μm±20%

zui大行程范圍(-20~150V)

220

μm±20%

傳感器類型

SGS/-


通孔尺寸

25×25

mm

閉/開環(huán)分辨率

10/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<50

µrad

推/拉力

80/40

N

運動方向剛度

0.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

200

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

20/5

ms±20%


閉環(huán)空載工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

zui大承載

5

kg

靜電容量

11

μF±20%

材質(zhì)


重量

240

g±5%


以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。


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