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產(chǎn)品名稱:P76壓電物鏡定位器

產(chǎn)品型號:P76大負載

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P76壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設(shè)計機構(gòu),無 摩擦,直線性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計,可適配多種型號的顯微鏡。

更新日期:2021-03-23

P76大負載P76壓電物鏡定位器的詳細資料:

P76系列壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設(shè)計機構(gòu),無 摩擦,直線性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計,可適配多種型號的顯微鏡。

特性:

• 位移行程110μm

• 大負載500g

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 閉環(huán)重復定位精度高

• 聚焦穩(wěn)定性好

典型應(yīng)用

• 三維成像 • 干涉/計量

• 自動聚焦系統(tǒng) • 共焦顯微

• 晶圓切割 • 半導體測試

螺紋適配器便于安裝
   P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙可選 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。

 

大負載、高頻響、高分辨率
   P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計是為了大負載、大孔徑 物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達到快的階躍時間。它 極其堅固的設(shè)計提供了非??斓姆€(wěn)定時間及掃描頻率,即 使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列 及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計,使它具有較高的剛度,同 時保證了優(yōu)異的導向精度和動態(tài)性。
   P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大 負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用 的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與 手動調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。

技術(shù)參數(shù):

 

型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P76.Z100S P76.Z100K

 

單位

運動自由度

Z

 

標稱行程范圍(0~120V)

80

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

110

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

 

閉/開環(huán)分辨率

5/2.5

nm

閉環(huán)線性度

0.05/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.02/-

%F.S.

推/拉力

70/10

N

運動方向剛度

0.8

N/μm±20%

空載諧振頻率

800

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

5/2

ms±20%

 

閉環(huán)空載工作頻率

10%行程

400

 

Hz±20%

行程

50

大承載

0.5

kg

靜電容量

7.2

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

520

g±5%

 

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

 

 

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