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產(chǎn)品名稱(chēng):p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

產(chǎn)品型號(hào):P31

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性,通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2021-03-23

P31p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡的詳細(xì)資料:

1.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

P31俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)可提供光束偏轉(zhuǎn)角度達(dá)50mrad,這種偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于成熟的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì),兩個(gè)運(yùn)動(dòng)軸為垂直共面軸且具有共同的固定點(diǎn),具有高分辨率及高定位精度等特點(diǎn)。

 

2.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

特性  

 • θx,θy二維偏轉(zhuǎn),zui大偏轉(zhuǎn)角度25mrad                    • 閉環(huán)定位精度高                    

 • 分辨率高                 • 溫度穩(wěn)定性高                    • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

3.二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad

運(yùn)動(dòng)方式  

   頻率負(fù)載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測(cè)電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

 

  高可靠性及長(zhǎng)壽命、高穩(wěn)定性及動(dòng)態(tài)性  

   結(jié)構(gòu)原理  

 

P31系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器,被集成在成熟的、經(jīng)過(guò)FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

壓電促動(dòng)器、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及傳感器是免維護(hù)的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設(shè)計(jì)將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍(可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad),且具有非??斓捻憫?yīng)速度,在毫秒級(jí)范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動(dòng)態(tài),P31還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器(SGS)實(shí)現(xiàn)了的位置控制,具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度,通常為滿行程的0.2%。

壓電偏轉(zhuǎn)鏡(兩軸運(yùn)動(dòng))是基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì),具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)(壓電促動(dòng)器)以90°角平分放置,成對(duì)的差分控制分布。兩對(duì)差分驅(qū)動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內(nèi)提供zui高可實(shí)現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運(yùn)動(dòng)是由兩對(duì)壓電促動(dòng)器以推拉模式來(lái)實(shí)現(xiàn),采用橋式連接電路控制。

 

  可定制鏡片轉(zhuǎn)接座  

  驅(qū)動(dòng)控制  

 

P31壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90相差輸入,通過(guò)控制電壓的大小,對(duì)不同的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應(yīng)用  

  產(chǎn)品測(cè)試  

 

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動(dòng)  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 • 干涉

 

 

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