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宏微復(fù)合跨尺度兩級驅(qū)動精密定位技術(shù)是****、航空航天、精密加工、生物科學(xué)和精密光學(xué)等領(lǐng)域的關(guān)鍵支撐技術(shù)之一。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，精密定位技術(shù)對定位系統(tǒng)行程和精度的需求越來越大，宏微復(fù)合兩級驅(qū)動精密定位技術(shù)克服了傳統(tǒng)的單一驅(qū)動定位技術(shù)難于實現(xiàn)大行程、高精度的技術(shù)難題，在體積、行程、響應(yīng)速度、定位精度等方面均具有較大的優(yōu)勢。

哈爾濱芯明天科技有限公司以實際應(yīng)用為主進行研發(fā)，克服各項技術(shù)難題，將手動調(diào)節(jié)微動臺與壓電納米定位臺相結(jié)合，將定位臺的行程擴展到幾十毫米，同時可達到納米級的分辨率，以滿足不同大行程、高精度要求的應(yīng)用。

本次介紹的就是一款宏微復(fù)合跨尺度兩級驅(qū)動的壓電精密定位臺，它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個方向產(chǎn)生運動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實物外觀如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的一端具有移動臺面，臺面尺寸為60mm×60mm，在移動臺面上配有16個M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個112mm×112mm的底座，在底座上具有8個φ8mm及3個φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復(fù)合平臺的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺采用了手動千分尺調(diào)節(jié)，該千分尺的行程為4mm，單圈調(diào)節(jié)為500μm。

該宏微復(fù)合平臺的壓電驅(qū)動部分是由壓電陶瓷來驅(qū)動，施加電壓信號來控制。通過芯明天壓電控制器對壓電平臺內(nèi)部壓電陶瓷施加電壓信號，壓電陶瓷產(chǎn)生相應(yīng)的位移，再由柔性結(jié)構(gòu)傳遞到移動臺面，從而使得移動臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動。

該部分壓電驅(qū)動的連接是通過引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復(fù)合平臺相連的。該套壓電系統(tǒng)的引線兩端都采用連接器連接。

E01.D3系列壓電控制器非常適于驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺，它具有閉環(huán)伺服模塊，可進行伺服控制；此外，可通過上位機軟件進行控制。

E01.D3系列壓電控制器驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的基本參數(shù)如下。

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