壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32θx θy Z三維壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動的傾斜鏡，壓電傾斜鏡內部采用無回差柔性鉸鏈并聯結構，采用有限元分析柔性鉸鏈結構,緊湊的差分并聯結構柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點，壓電偏轉鏡內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保偏轉鏡具有的運動控制精度、分辨率和穩(wěn)定性，可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成光學系統(tǒng)中。
驅動控制方式：
芯明天壓電偏轉鏡可以根據用戶對負載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據用戶特定的需求開發(fā)定制。
典型應用：
精密壓電偏轉鏡主要應用于光通信、光路調整、光干涉、自適應光學等領域，芯明天P33系列壓電偏轉系統(tǒng)已經成功應用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內外科研院所及企業(yè)的青睞。
