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壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電元件作為驅(qū)動(dòng)源與外部機(jī)構(gòu)相結(jié)合帶動(dòng)鏡片實(shí)現(xiàn)精密偏轉(zhuǎn)/傾斜運(yùn)動(dòng)的壓電機(jī)械系統(tǒng)。芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡包括壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)精密偏轉(zhuǎn)鏡以及壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)大行程壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式包括一維θx二維θx,θy三維θx,θy,Z，運(yùn)動(dòng)工作方式如下圖所示：

該系列高精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡具有多種尺寸、偏轉(zhuǎn)范圍、規(guī)格型號(hào)可選，P31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡能夠?qū)崿F(xiàn)的zui大偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)25mrad，P33.T2S壓電偏轉(zhuǎn)鏡配套芯明天閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)現(xiàn)0.5μrad的定位精度。

驅(qū)動(dòng)控制方式：

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以根據(jù)用戶對(duì)負(fù)載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據(jù)用戶特定的需求開發(fā)定制。

典型應(yīng)用：

精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡主要應(yīng)用于光通信、光路調(diào)整、光干涉、自適應(yīng)光學(xué)等領(lǐng)域，芯明天P33系列壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)已經(jīng)成功應(yīng)用于衛(wèi)星激光通信實(shí)驗(yàn)中，高精度的偏轉(zhuǎn)、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國(guó)內(nèi)外科研院所及企業(yè)的青睞。

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡，采用壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，內(nèi)部精密軸承轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)向與外部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)相結(jié)合實(shí)現(xiàn)大行程高精度精密偏轉(zhuǎn)。

主要特性： 

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡為一維θx軸壓電偏轉(zhuǎn)鏡，中心通孔透光孔徑為9mm、偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)6°（+/-3°）、實(shí)現(xiàn)光學(xué)12°的偏轉(zhuǎn)，可以選擇不同的控制器實(shí)現(xiàn)1/64步，即zui小步進(jìn)0.3μrad， 速率可達(dá)25mrad/s。

驅(qū)動(dòng)控制方式：

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)偏轉(zhuǎn)鏡可以選擇三種不同分辨率的控制器實(shí)現(xiàn)不同的zui小步進(jìn)，主要是通過(guò)軟件進(jìn)行上位機(jī)控制，zui小步進(jìn)與步進(jìn)速度可以設(shè)置。

典型應(yīng)用：

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡已經(jīng)應(yīng)用于光學(xué)導(dǎo)軌帶動(dòng)分束立方體做精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。