壓電平移臺的主要性能特點
性能特點
1.壓電平移臺采用高性能的壓電陶瓷驅動
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴格保證構結精度
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設計方法設計微動結構
5.采用先進的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺
壓電平移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，壓電平移臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，復合式的柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度、有效消除側向運動分量，同時具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。超大行程2000μm，壓電納米定位臺內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電平移臺具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。壓電平移臺為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。
