壓電陶瓷在半導體技術(shù)領(lǐng)域的應用
在半導體領(lǐng)域，我公司提供各種基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長壽命壓電元件，用于定位的高性能大行程納米定位陶瓷。其他的精密運動產(chǎn)品還包括用于快速光束穩(wěn)定/角度校正的壓電偏擺平臺，用于納米測量應用的壓電柔性納米臺，用于掩模對準的納米對準系統(tǒng)，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺。
應用 | 解決方案 | 典型產(chǎn)品 | 產(chǎn)品展示 |
納米壓印 光盤測試 掩模與晶圓對準 物鏡精密定位 光刻 | 多軸壓電系統(tǒng) 納米定位臺 壓電促動器 納米聚焦系統(tǒng) | 定制六軸精密壓電定位臺 P16壓電定位掃描臺 P76/P72物鏡壓電定位器 |
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光學干涉 | 閉環(huán)壓電促動器與柔性導向系統(tǒng) | 定制大行程物鏡掃描器 XP-63X高精度納米定位器 |  |
電纜接合 | 壓電彎片促動器 | 壓電彎曲片 |
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光學測試/六軸定位 | 6軸并聯(lián)機構(gòu)微定位系統(tǒng) | N90 Hexapod 6軸定位系統(tǒng) 定制大行程Hexapod系統(tǒng) |
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大行程納米對準系統(tǒng) | 鉸鏈放大壓電促動器 1-6軸壓電柔性定位臺 | P11.XYZ壓電定位臺 大推力壓電促動器 |
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光束掃描與穩(wěn)定 光學路徑校正 | 快速壓電偏擺鏡系統(tǒng) | P34 微型壓電偏擺鏡 P33 高動態(tài)壓電偏擺鏡 |
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主動減震 | 壓電堆促動器與陶瓷 | 大推力壓電促動器 高壓壓電陶瓷 薄片型壓電傳感器/致動器 |
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縱向晶圓定位 | 壓電Z/Tip/Tilt偏擺臺 | P54壓電Z向及Z/Tip/Tilt定位平臺 定制六軸精密壓電納米定位臺 |
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