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芯明天N62系列穩(wěn)像壓電掃描臺

更新時間: 2021-02-07

N62系列壓電掃描臺為XY 軸平移掃描臺,機構(gòu)放大設(shè)計原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。

 

特點

• 位移可達±10μm

 承載能力1kg

 可定制

 真空版本可選

 

典型應(yīng)用

• 顯微成像

 表面檢測

 圖像穩(wěn)定

 干涉/ 計量

 

頻率負載曲線

 

高動態(tài) 高分辨率

N62系列壓電掃描臺為小體積高精度平移掃描臺,是特別為高分辨率、高動態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計的XY軸掃描臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程,分辨率可以達到0.5nm,滿行程重復(fù)定位精度達納米級。

產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì),特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常大的剛度,空載諧振頻率達2000Hz,滿足工業(yè)上對高頻率、高精度等應(yīng)用的需求。

 

動態(tài)性能好

下圖為N62.XY20K帶載10g負載在500Hz頻率下位移曲線。

 

技術(shù)參數(shù)

型號N62.XY20

運動自由度XY

行程范圍(0~120V)±8μm/軸

行程范圍(0~150V)±10μm/軸

閉環(huán)傳感器類型SGS

通孔尺寸Ø26mm

/開環(huán)分辨率1/0.5nm

閉環(huán)線性度0.3%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動<10μrad

/拉力44/44N

運動方向剛度X2.2/Y2.2N/μm

空載諧振頻率X2000/Y2000Hz

/開環(huán)空載階躍時間1.5/0.7ms

承載能力1kg

靜電容量1.6μF/軸

材質(zhì)鋼、鋁

重量180g

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