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M60 系列直線壓電馬達(dá)，內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動，直線運動行程可選 25、50、100mm，可達(dá)亞納米級分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度?？蛇x移動臺面。

特點

• 大出力

• 閉環(huán)誤碰后自動歸位

• 上電自動找零位

• 可選光柵數(shù)字閉環(huán)

• 采用耐磨材料，真空無磁兼容

應(yīng)用領(lǐng)域

• 工業(yè)級精度定位

• 半導(dǎo)體技術(shù)/測試

• 晶圓檢測

• 平版印刷

• 納米壓印

• 納米計量學(xué)

• 在強磁場和真空中運動

大出力
M60系列直線壓電馬達(dá)的主動推拉力可達(dá)50N，被動保持力達(dá)60N。并且，M60水平放置時，可承載10kg負(fù)載下進(jìn)行高精度運動。

 增量式編碼器提高精度
M60可選配增量式編碼器作為閉環(huán)傳感器，可提高直線運動的精度。

 斷電自鎖、自動找零、自動歸位
M60后在斷電后具有自鎖功能，且再次上電時，會自動找零位。在使用中，若有誤碰情況，M60會自動調(diào)節(jié)歸位。

 耐磨材料

 M60直線壓電馬達(dá)采用高耐磨材料，壽命達(dá)千米以上。

 配套控制器

E71系列壓電控制器是專為驅(qū)動M60直線壓電馬達(dá)而設(shè)計，它是由上位機數(shù)字控制，運動速度可調(diào)，采用逼進(jìn)式到達(dá)目標(biāo)位置的設(shè)定方式。

M60技術(shù)參數(shù)

型號：M60直線壓電馬達(dá)

運動自由度：X

集成傳感器類型：增量式編碼器

標(biāo)稱行程范圍：25mm、50mm、100mm

速度上線：10mm/s

閉環(huán)分辨率：＜10nm

開環(huán)分辨率：＜0.1nm

推/拉力（主動）：50N

保持力（被動）：60N

工作溫度：0~50℃

質(zhì)量（包含電纜）：565g

材質(zhì)：鋁，不銹鋼

電纜長度：1.5m