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為1-3維直線掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

特性：

• 大位移370μm

• 大承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

1~3維掃描臺(tái)

    P18壓電掃描臺(tái)包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

典型應(yīng)用

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

• 干涉/計(jì)量 • 表面檢測(cè)

• 半導(dǎo)體測(cè)量 • 光學(xué)計(jì)量

大位移、大承載、高剛度、高頻響