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P77系列壓電移相器是專(zhuān)為光學(xué)檢測(cè)移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)，行程范圍可達(dá) 50µm，負(fù)載能力可高達(dá)10kg。P77.D9為P77系列中的一款，它的中心通孔為φ140mm，移相行程可達(dá)32μm，分辨率達(dá)0.5nm，適用于各種光學(xué)鏡片、鏡頭等測(cè)量的臥式激光干涉儀，臥式承載達(dá)5kg。

芯明天壓電移相器以定制設(shè)計(jì)為主，依據(jù)客戶的設(shè)備應(yīng)用，量身定制。

特點(diǎn)

• 行程范圍：0~16/32μm

• 通孔直徑：Φ140mm

• 臥式承載：5kg

• 可定制

應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測(cè)

• 移相/干涉/計(jì)量

• 精密定位

• 移相器

• 光學(xué)捕獲

10V步進(jìn)電壓與位移曲線

應(yīng)用示圖

P77.D9壓電移相器是專(zhuān)為臥式激光干涉儀而設(shè)計(jì)，帶載大口徑鏡架等，亞納米級(jí)步進(jìn)移相，為光學(xué)檢測(cè)設(shè)備提供高精密的核心組件，顯著提高光學(xué)檢測(cè)的精度。

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度：Z軸

標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V）：12.8或25.6μm

行程范圍（0~150V）：16或32μm

通孔尺寸：φ140mm

外形尺寸：210×210×56mm

分辨率：0.5nm

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<15μm

空載諧振頻率：200Hz

臥式承載能力：5kg

靜電容量：14.4或28.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：4.2kg

工作溫度范圍：-20~80℃

控制：1或2路控制

連接器：LEMO

出線長(zhǎng)：1.5m

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