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如何選擇適合您應用的壓電納米定位臺

更新時間: 2020-06-05

壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度,集成到各種相關儀器及機械設備中,從而實現(xiàn)高精度納米級定位與運動。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能,來選擇適合您應用的壓電納米定位臺吧。

什么是壓電納米定位臺?

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結合柔性鉸鏈機構實現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ精密運動的壓電平臺。運動范圍大可達375μm,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性,壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用。

壓電納米定位臺性能

· 超高分辨率

壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,可實現(xiàn)亞納米級分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺,配套E53系列壓電控制,可實現(xiàn)0.5nm的步進分辨率。

· 大出力

芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷,大出力可達幾千牛頓,廣泛應用于精密加工等領域。

· 快速響應

壓電納米定位由容性壓電陶瓷驅(qū)動,響應時間可快至毫秒級。芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器,可實現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。

· 無磨損

平臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度,具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。

 

· 電壓驅(qū)動

芯明天壓電納米定位產(chǎn)品標準驅(qū)動電壓為0~120/150V,可產(chǎn)生大375μm位移行程。同時可以根據(jù)要求定制其他電壓驅(qū)動版本。

驅(qū)動控制系統(tǒng)

芯明天壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數(shù)字輸入控制,具有功率放大功能,且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)。多種通道數(shù)及功能可選,可驅(qū)動各種壓電類產(chǎn)品,同時也可根據(jù)應用需求提供定制服務。

應用到那些領域

· 光纖端面檢測

壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運動,配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測實驗。

· 精密車削

利用快速刀具定位器超精密制造技術,實現(xiàn)光學非球面、自由曲面、微結構與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。

· 原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位臺與原子力顯微鏡相結合,可以實現(xiàn)375μm的掃描范圍,分辨率為亞納米級,響應時間可達亞毫秒。

· 激光平面干涉儀

Z向壓電納米定位臺的作用是做納米級的微運動,精確調(diào)整待測物的位置,從而改變對應條紋的寬度及位置,以達到精確的表面測量。

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