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XD602系列壓電納米定位臺是XYZ三維運動壓電平臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，具有分辨率高、行程大等特點，行程范圍可達200μm/ 軸，廣泛應(yīng)用于精密定位、微操作等領(lǐng)域。

產(chǎn)品運動示意圖

應(yīng)用

納米定位

精密定位

微操作/微加工

大行程、高可靠性、高穩(wěn)定性

XD602為壓電陶瓷驅(qū)動、高可靠性壓電納米定位臺，可以實現(xiàn)每軸200μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計具有無摩擦、導向精度高等特點。

閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。與E70系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)

型號：XD602
運動方向：X/Y/Z

行程范圍@120V：160µm

行程范圍@150V：200µm

傳感器：SGS

開環(huán)分辨率：8nm

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

空載諧頻：270Hz

諧振頻率@100g：110Hz

50%行程空載使用頻率：20Hz

臺體材料：鋁

工作溫度范圍：0~50 ℃

承載能力：300g

推薦控制器

XD602系列壓電位移臺，可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用，模擬與數(shù)字控制，體積小巧，高性能搭配。