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驅(qū)動元件

芯明天壓電納米定位臺內(nèi)部采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，主要利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，通過對壓電陶瓷施加電場，產(chǎn)生納米級精度的致動位移。壓電陶瓷具有優(yōu)異性能及超長使用壽命，多種尺寸及位移集成到納米定位系統(tǒng)中滿足不同應(yīng)用的需求。

壓電陶瓷

內(nèi)部結(jié)構(gòu)

柔性鉸鏈機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機構(gòu)還可以提供適當?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

柔性鉸鏈

運動自由度

芯明天壓電納米定位臺可以實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸方向的精密運動。

位移行程

芯明天壓電納米定位臺的位移行程通常在幾微米至幾百微米之間，更大行程范圍可定制。

分辨率

壓電納米定位臺內(nèi)部采用的壓電陶瓷本身具有無限高的分辨率，但由于受外部控制信號及其他因素的影響，使得可實現(xiàn)的分辨率是有限的。以P63系列為例，配套芯明天E01系列壓電控制器，可以實現(xiàn)0.1nm的步進分辨率。

步進分辨率

響應(yīng)時間

壓電納米定位臺的響應(yīng)時間可達毫秒級，以P11系列為例，配套芯明天E52系列壓電控制器可實現(xiàn)0.8ms的響應(yīng)時間。

響應(yīng)時間

驅(qū)動電壓

芯明天壓電納米定位臺的驅(qū)動電壓可在-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0~120V。

可選閉環(huán)反饋

芯明天壓電納米定位臺可選配集成 SGS 應(yīng)變傳感器、 位移傳感器或CAP電容傳感器，以消除PZT 壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性，使得輸入控制電壓與輸出位移成線性關(guān)系。芯明天壓電產(chǎn)品均可選閉環(huán)版本，配套芯明天閉環(huán)控制系統(tǒng)，壓電控制器通過PID算法進行電壓調(diào)整對位移進行實時修正，實現(xiàn)納米級定位精度，穩(wěn)定性好，可靠性高。

閉環(huán)傳感器